无尘车间洁净室高效过滤器的检漏说明：
(使用仪器：检漏仪和尘埃离子计数器）
１、对于安装于高效过滤器在无尘车间洁净室送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法（光度计法）和采样量最小为１Ｌ/ｍｉｎ的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。
２、无尘车间洁净室高效过滤器检漏仪法检漏
（１）被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80％～120％之间运行。
（２）在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
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（３）当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
（４）对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍；当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80～100μｇ/Ｌ。检漏仪表应具有0.001～100μｇ/Ｌ的测量范围。
３、无尘车间洁净室高效过滤器粒子计数器法检漏
（１）被检过滤器必须已测过风量，在设计风速的80％～120％之间运行。
（２）在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×104粒/Ｌ；若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1μｍ微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5×106～3.5×107粒/Ｌ。
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（３）若上风侧浓度不符合上项规定，则应引入不经过滤的空气，如果还达不到规定，则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2～3ｃｍ处，以5～20ｍｍ/ｓ的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。
